Ing taun-taun pungkasan, teknologi sensor negara saya kanthi cepet, lan kolom aplikasi uga berkembang. Minangka jinis teknologi pangukuran modern sing paling diwasa, teknologi anyar, bahan anyar lan proses anyar terus berkembang ing lapangan sensor tekanan.
Sensor meksa minangka piranti sing digunakake kanggo ndeteksi sinyal tekanan lan ngowahi dadi sinyal listrik miturut aturan tartamtu. Iki digunakake ing macem-macem produksi, industri lan aerospace. ° C) bakal gagal, nyebabake gagal pangukuran tekanan. Mula, sensor tekanan suhu sing dhuwur dadi arah riset sing penting banget.
Klasifikasi sensor tekanan suhu dhuwur
Miturut bahan sing beda-beda sing digunakake, sensor meksa suhu dhuwur bisa dipérang dadi sensor tekanan suhu dhuwur, sik (silikon ing insulator tekanan suhu dhuwur, status pangembangan Silicon, status riset lan prospek riset lan prospek riset lan prospek riset lan prospek riset lan prospek riset Sensor meksa suhu SOI apik banget. Ing ngisor iki utamane ngenalake sensor tekanan suhu sai dhuwur.
SEIP Sensor Tekanan Tinggi Soi
Pangembangan sensor tekanan suhu SOI utamane gumantung saka bahan Soi.Soi yaiku silikon ing insulator, lapisan sosialisasi sing beda karo lapisan silikon sing umum, lan ningkatake linuwih saka Piranti.in, amarga karakteristik suhu suhu dhuwur saka lapisan SOI, dadi bahan sing cocog kanggo nyiapake sensor tekanan suhu dhuwur.
Saiki, soi sensor tekanan suhu dhuwur wis sukses ngembangake ing luar negeri, lan suhu kerja yaiku -55 ~ 480 ° C; sensor tekanan suhu sensor cai soi sing dikembangake dening Pusat Teknologi Sensor sing apik ing Amerika Serikat; Sensor meksa suhu SOI sing dikembangake dening lembu Prancis sing dikembangake dening suhu institusi riset luwih saka 400 ° C.domestik uga nindakake riset babagan sensor tekanan suhu dhuwur, kayata Universitas Tianjin, lan Universitas Peking. Kajaba iku, Institut Penelitian Teknologi Teknologi FATRI ing Fatri uga nindakake karya riset sing gegandhengan, lan proyek saiki wis mlebu ing tahap demonstrasi.
Prinsip kerja SOI sensor tekanan suhu soi
Minangka prinsip, sensor tekanan suhu soi utamane nggunakake efek piezoresistive saka kristal tunggal, sing bisa owah-owahan saka mobilitas silikon, sing bisa owah-owahan ing arah sing spesifik ing lapisan ndhuwur ing lapisan ndhuwur ing lapisan ndhuwur Jembatan wheatstone kaya sing ditampilake ing Gambar 2 (A); Rongga tekanan mundur ing lapisan landasan soi kanggo mbentuk struktur sensitif tekanan.
Gambar 2 (a) Bridge Wheatstone
Nalika struktur tekanan kena tekanan udara, resistensi pangowahan piezoresistor, sing bakal nyebabake voltase output kanggo ngganti, lan nilai tekanan diukur liwat hubungane antarane nilai voltase output lan nilai resistensi pizoresistortor.
Proses fabrikasi Sensor tekanan suhu dhuwur SOI
Proses persiapan sensor tekanan suhu dhuwur SOI melu pirang-pirang proses MEMSS. Sawetara langkah utama sing dikenalake ing kene kanggo ngerti proses sensor, utamane kalebu persiapan pizzoresistortor, persiapan logam, persiapan film sensitif, lan kemasan kamar sensitif.
Kunci kanggo nyiapake varistor ana ing konstentrasi doping lan optimasi proses cetakan etching sabanjure; Lapisan timal logam utamane minangka sambungan saka jembatan wheatstone; Persiapan film sensitif meksa utamane gumantung ing proses etching jero silikon; Bungkus rongga biasane beda-beda gumantung karo aplikasi sensor tekanan,
Wiwit sensor tekanan suhu komersial saiki ora bisa nyukupi syarat pangukuran tekanan ing lingkungan sing luwih dhuwur kayata mesin sing dhuwur lan bahan soi, bahan-bahan suhu Aero, bahan-bahan sing cocog karo sensor tekanan suhu dhuwur. Panliten ing Future ing sensor tekanan suhu SOI kudu fokus kanggo ngatasi stabilitas jangka panjang lan masalah sensor sing dawa ing lingkungan sing suhu suhu dhuwur lan ningkatake akurasi sensor tekanan. aspek.
Mesthi wae, tekane jaman cerdas uga mbutuhake sensor tekanan suhu dhuwur sing digabungake karo teknologi multidisiplai liyane kanggo ngrampungake fungsi awak kanthi sensor, supaya bisa ngrampungake misi sensor kanthi sensor komplek tekanan tekanan suhu dhuwur. Waca rangkeng-.
Wektu kirim: Feb-13-2023